中圖臺(tái)階儀廠家采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

SuperViewW納米級(jí)光學(xué)輪廓白光干涉儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

CEM3000掃描電鏡能譜儀無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。

NS系列亞納米級(jí)垂直分辨率臺(tái)階儀臺(tái)階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測(cè)量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級(jí)，且垂直方向動(dòng)態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測(cè)量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。

中圖儀器微觀3D形貌共聚焦顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中，其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

CEM3000中圖儀器臺(tái)式電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。