產(chǎn)品簡介

PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

中圖儀器PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。

PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

功能特點(diǎn)

1、高分辨率數(shù)字正交信號輸出，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）。 

2、高測量精度，線性測量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

3、高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.02~0.05ppm。

4、測量范圍大，最大量程可達(dá)4m（可拓展）。

5、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測量設(shè)備，便于安裝，同時還可避免主機(jī)散熱對測量通路的影響。

6、輸出正交數(shù)字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。 

8、即可作為激光干涉儀進(jìn)行測量，也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

9、多通道輸出，可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時測量及多自由度測量。

10、環(huán)境補(bǔ)償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)，實(shí)時補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準(zhǔn)確性。

核心優(yōu)勢

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。  

（2）環(huán)境氣象站實(shí)時補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。  

2. 靈活配置  

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量。  

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場景。 

3. 高穩(wěn)定性與便捷性  

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。  

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達(dá)2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動場景。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺反饋控制。  

航空航天：發(fā)動機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)。  

精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動位置反饋、微機(jī)械元件測量。  

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。  

服務(wù)與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。  

專業(yè)認(rèn)證：提供激光校準(zhǔn)證書，確保數(shù)據(jù)性。  

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場問題。