SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復性，連續10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數據偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。

SuperViewW光學表面輪廓儀系統以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標準參數，一體化高精度測量粗糙度與輪廓度。

中圖儀器SuperViewW白光粗糙度輪廓儀基于白光干涉核心技術，實現粗糙度與輪廓度一體化高精度測量，以全場景適配、高效自動化優勢，成為B端企業降本增效的核心檢測裝備。

中圖儀器SuperViewW光學微觀幾何輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW非接觸式光學三維輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

?中圖3維形貌輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點。