CEM3000系列超清掃描顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。其抗振設計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

VT6000系列國產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領域中，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達亞納米級別。不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

NS系列臺階薄膜測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。