中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級(jí)的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。可廣泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數(shù)秒內(nèi)即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。其載物臺(tái)XY行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍可達(dá)10mm，在測量大尺寸的樣品時(shí)，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um）。

W1光學(xué)3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)，隨意翻轉(zhuǎn)縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。

中圖光學(xué)輪廓測量儀直觀的操作界面，讓您對(duì)操作流程一目了然，自動(dòng)聚焦，助您一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的分析功能，有一鍵分析功能，批量測量不用愁。

SuperViewW1光學(xué)鏡片表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，詮釋始終如一的測量品質(zhì)。